DVIM系列提供比ISO氣動(dòng)隔振器更多的阻尼，它是一個(gè)用于線(xiàn)性X-Y平臺(tái)的子系統(tǒng)，可以限度地減少振動(dòng)，并在平臺(tái)運(yùn)動(dòng)發(fā)生后穩(wěn)定平臺(tái)。 DVIM-G提供的有效載荷建立時(shí)間，主要的隔振性能和優(yōu)異的阻尼性能。

主要的隔振
與競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的氣動(dòng)隔振器不同，DVIM-G采用特殊的機(jī)械過(guò)濾系統(tǒng)，提供的水平隔振。此外，DVIM-G具有的垂直隔振性能，DVIM-G氣動(dòng)隔振器經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可在重型和高速線(xiàn)性X-Y平臺(tái)內(nèi)提供的隔振性能。

兩室和可變孔板
DVIM-G的雙室系統(tǒng)包括一個(gè)氣室和一個(gè)連接兩個(gè)孔的阻尼室：一個(gè)位于室外的可變孔和一個(gè)位于室內(nèi)的內(nèi)孔。這些孔控制這些腔室之間的空氣流動(dòng)，這增加了阻尼效率并減少了沉降時(shí)間。當(dāng)發(fā)生階段運(yùn)動(dòng)時(shí)，氣室產(chǎn)生恢復(fù)力，空氣通過(guò)小孔流入阻尼室。這些孔消耗空氣中的能量和擾動(dòng)，導(dǎo)致系統(tǒng)阻尼，減少有效負(fù)載的建立時(shí)間。

創(chuàng)新的調(diào)平閥門(mén)，加快建立時(shí)間
我們的三個(gè)雙向調(diào)平閥能夠自動(dòng)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，提供多種閥門(mén)選擇，從±0.5mm的重復(fù)性標(biāo)準(zhǔn)閥門(mén)到±0.05mm重復(fù)性的精確閥門(mén)。另外，在DVIM-G型隔振器上加裝A.O.V閥，使沉降片在沉重的階段運(yùn)動(dòng)后，通過(guò)控制氣流在垂直和水平軸上快速沉降整個(gè)系統(tǒng)。

油阻尼器選項(xiàng)
當(dāng)DVIM-G隔離器與外部油阻尼器一起使用時(shí)，X-Y線(xiàn)性級(jí)的運(yùn)動(dòng)被最小化，有效負(fù)載穩(wěn)定時(shí)間減少，并且隔離器的剛度增加。

應(yīng)用
線(xiàn)性階段、半導(dǎo)體/ FPD制造檢測(cè)系統(tǒng)、光學(xué)激光設(shè)備、OEM應(yīng)用程序

規(guī)格
隔振：氣動(dòng)隔離
自然頻率：垂直1.5-1.7Hz，水平：1.2-1.5Hz
隔振：10Hz時(shí)±95％
建立時(shí)間：±1.0秒
調(diào)平：自動(dòng)調(diào)平
調(diào)平重復(fù)性：精密閥門(mén)：±0.05mm，標(biāo)準(zhǔn)閥門(mén)：±0.1mm
阻尼：可變孔板，內(nèi)部孔板，雙室系統(tǒng)，外部油阻尼器

性能

解決時(shí)間

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