DVIM系列提供了比ISO氣動(dòng)隔振器更多的阻尼，它是一個(gè)用于線性XY平臺(tái)的子系統(tǒng)，可以限度地減少振動(dòng)，并在平臺(tái)運(yùn)動(dòng)發(fā)生后穩(wěn)定平臺(tái)。 DVIM-M以合理的價(jià)格提供快速的有效載荷設(shè)置時(shí)間，高隔振性能水平和阻尼。

的隔振性能
DVIM-M在垂直和水平軸上都提供了高水平的隔振。 DVIM-M氣動(dòng)隔振器經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可在重型和高速線性XY平臺(tái)內(nèi)提供的隔振性能。

創(chuàng)新的調(diào)平閥門(mén)，加快建立時(shí)間
我們的三個(gè)雙向調(diào)平閥能夠自動(dòng)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，提供多種閥門(mén)選擇，從±0.5mm的重復(fù)性標(biāo)準(zhǔn)閥門(mén)到±0.05mm重復(fù)性的精確閥門(mén)。另外，在DVIM-M型隔振器上加裝A.O.V閥，使沉降片在沉重的階段運(yùn)動(dòng)后，通過(guò)控制氣流，使垂直和水平軸上的整個(gè)系統(tǒng)迅速沉降。

油阻尼器選項(xiàng)
當(dāng)內(nèi)置油阻尼器使用DVIM-M隔離器時(shí)，XY線性平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)被最小化，有效負(fù)載穩(wěn)定時(shí)間減少，隔離器的剛度增加。

應(yīng)用
線性階段、半導(dǎo)體/ FPD制造檢測(cè)系統(tǒng)、光學(xué)激光設(shè)備、OEM應(yīng)用程序

一般規(guī)格
隔振：氣動(dòng)隔離
自然頻率：垂直：2.5?2.8Hz，水平：2.7?3.0Hz
隔振：10Hz時(shí)±90％
建立時(shí)間：±3.0秒
調(diào)平：自動(dòng)調(diào)平
調(diào)平重復(fù)性：精密閥門(mén)：±0.05mm，標(biāo)準(zhǔn)閥門(mén)：±0.1mm
阻尼：內(nèi)部孔板，外部或內(nèi)置油阻尼器

性能和解決時(shí)間

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