美國產(chǎn)Plasma Cleaning System
PE-100實(shí)驗(yàn)室等離子表面處理機(jī)
PE公司成立于1980年，致力于提供電子行業(yè)用的等離子設(shè)備及相關(guān)服務(wù)。通過幾十年的發(fā)展，公司發(fā)展成為提供等離子設(shè)備方面的專家，可為客戶提供專業(yè)的產(chǎn)品和解決方案，先后眾多企業(yè)提供等離子處理設(shè)備：美國宇航局NASA, 美國波音Boeing，*的電子保安系統(tǒng)產(chǎn)品制造商美國霍尼韋爾Honeywell,美國摩托羅拉Moto, 德國拜耳Bayer，世界飛機(jī)的企業(yè)美國洛克希德馬丁Lockheed-Martin等等。
PE公司介紹
PE100等離子處理機(jī)是一款集綜合功能于一身的重量級產(chǎn)品。既可以應(yīng)用于大學(xué)，科學(xué)研究機(jī)構(gòu)，又能在工業(yè)級應(yīng)用領(lǐng)域針對于小批量生產(chǎn)發(fā)揮強(qiáng)大作用。
PE100等離子處理機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：
1. 體積小，配備小型真空泵，無需占用很大空間，可以放置在任何實(shí)驗(yàn)臺上。
2. 性能可靠，“度量”寬大。真空腔體采用T6061經(jīng)過特殊處理的航空鋁合金材料無縫焊接，有效處理面積達(dá)到約229mm*330mm.間距76mm(3層電極)可以輕松將大部分實(shí)驗(yàn)樣品放入真空腔體內(nèi)并實(shí)現(xiàn)小批量生產(chǎn)。
3. 配置靈活,PE-100擁有靈活多變的參數(shù)配置組合，能夠勝任使用者的不同需求。除了配置不同的頻率（100~460KHz，13.56MHz）,不同的頻率段，還提供不同的功率以供用戶選擇。在控制系統(tǒng)上，也配置了面板控制和更精準(zhǔn)的全數(shù)字電腦控制，以滿足用戶的使用要求。
4. 可以配置*的過程控制的溫控電極與RIE反應(yīng)性等離子體處理系統(tǒng)。
5. 操作簡便.設(shè)備的安裝非常簡單，工廠還提供詳盡的說明和相應(yīng)的管道等配件。面板的操作部分，在設(shè)計(jì)中做到盡可能簡單和避免誤操作。一般操作人員在極短的時間內(nèi)就可以熟練操作，甚至只需要幾分鐘就可掌握。
6. 安全保障：在小型設(shè)備中，*引入一鍵急停保護(hù)按鈕，當(dāng)參數(shù)設(shè)置有誤而設(shè)備已經(jīng)啟動的時候，可以快速終止實(shí)驗(yàn)，以zui小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。
PE100等離子處理機(jī)參數(shù)：
外部尺寸 | 432mm* 711mm*762mm 重量：73Kg |
真空腔材質(zhì) | 耐用的焊接6061 T6鋁合金真空腔 |
真空腔尺寸 | 約305mm寬*356mm深*305mm高 |
電極尺寸 | 約229mm*330mm.間距76mm(3層電極) |
等離子發(fā)生器 | 300 W @ 100-460 KHz（可選配13.56MHz） |
供氣 | 質(zhì)量流量控制器: O-50cc （連續(xù)可調(diào)） |
壓力測量 | Pirini真空計(jì)：0-1Torr |
控制器 | 基于WINDOWS操作系統(tǒng)的控制系統(tǒng) |
安全保障 | 一鍵急停按鈕 |
電源 | 220VAC，14A |
PE100等離子處理機(jī)附件（可選件）
抽氣裝置：*型號：6.5 CFM 2級 直驅(qū)真空油泵
300w, 13.56Mhz可自動調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器
一層電極
溫控電極
RIE反應(yīng)性電極
可控速率氮?dú)庾詣哟祾哐b置
靜電屏蔽裝置
樣品處理實(shí)例：LED燈基片 處理前后對比
