產(chǎn)品簡介DWT-702精密溫度自動控制儀適用于晶體管、固體集成電路、可控硅元件等半導(dǎo)體制造過程中各種外延、燒結(jié)和擴(kuò)散等工藝，也適用于各種晶體生長、拉單晶等工藝

產(chǎn)品簡介

DWT-702精密溫度自動控制儀適用于晶體管、固體集成電路、可控硅元件等半導(dǎo)體制造過程中各種外延、燒結(jié)和擴(kuò)散等工藝，也適用于各種晶體生長、拉單晶等工藝。能對電阻性負(fù)載的各種電加熱爐能提供長時間連續(xù)性的高精度溫度自動控制。

規(guī)格參數(shù)

型 式： 盤裝式、便攜式

設(shè)定范圍： O～19.999mV一配用熱電偶 S(LB-3)

O～59.999mV一配用熱電偶K (EU_2)

設(shè)定精度 0.3級

設(shè)定方式：五位十進(jìn)數(shù)定拔盤

調(diào)節(jié)精度： ±O.1％

放大器時漂： ≤4μV／24小時

PID調(diào)節(jié)器參數(shù)：P：2～250％ 連續(xù)可調(diào)

I：O.5～10分鐘 連續(xù)可調(diào)

D：O～3分鐘 連續(xù)可調(diào)

輸出信號：移相脈沖，幅值>3V 寬度>30μs(20Ω負(fù)載)

移相范圍：每交流半周>150℃

數(shù)偶保護(hù)：斷偶時，偏差指示為正偏差，調(diào)節(jié)器輸出為零，儀表無輸出

抗干擾性：縱向220V50Hz：橫向5mV

工作環(huán)境：溫度為0～40℃相對濕度不超過

85％RH的無腐蝕性氣體的場合

大氣壓力：860～1060mbar

電 源：220V.AC±10％50Hz

重 量：約6.5kg