主要特點

• 檢出靈敏度：10-13-100Pa m3/s (He)
• 的BG恢復(fù)性能和操作性
• 大屏幕液晶顯示面板，操作簡單
• 分析管采用長壽命的鍍氧化釷銥燈絲（內(nèi)置兩根）
• 搭載大排量的粗抽真空泵，提高了作為通用機應(yīng)具備的穩(wěn)定性和可靠性
• 對大泄漏工件也可以進行檢漏測試

 應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體和平板顯示器制造
• LED制造
• 鍍膜設(shè)備
• 制冷設(shè)備和空調(diào)的元件及部件
• 低溫壓力容器
• 閥門氣密性
• 撿漏航空部件，配件及系統(tǒng)