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ST-102E型探針測試臺(prober station

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ST-102E型探針測試臺顯微鏡和USB接口CCD攝像頭共存的監(jiān)視方式ST-102E型探針測試臺(英文叫Proberstation,中文又稱中測臺,點測機

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ST-102E型探針測試臺
顯微鏡和USB接口CCD攝像頭共存的監(jiān)視方式


ST-102E型探針測試臺(英文叫Prober station,中文又稱中測臺,點測機。)、
與測試儀器配接后可用于集成電路芯片及各種晶體管芯的電參數(shù)測試及功能調(diào)試,適用于科研、新品試制及小批量生產(chǎn)的中間測試。

技 術(shù) 指 標

工作臺面
370mm*245mm
載物臺直徑
4"
可選二種放大倍數(shù)
*14-90倍連續(xù)變倍;
*17.5-112.5倍連續(xù)變倍;
監(jiān)視方式
顯微鏡和USB接口CCD攝像頭共存的監(jiān)視方式
光學(xué)參數(shù)
手輪調(diào)焦范圍:60mm;升降調(diào)焦范圍:200mm;
精密旋轉(zhuǎn)臺

粗調(diào)范圍:360°;微調(diào)范圍:±10°;最小刻劃:1°;
銅盤直徑:Φ85mm;絕緣盤直徑:Φ102mm

三維探針座
探針座X、Y、Z方向調(diào)節(jié)范圍:±3.25mm,分辨率±2μ;
三維探針座在工作臺面可任意位置固定,由磁性開關(guān)控制;
最多可布三維探針座6個;
探針臂伸出長度:60mm;
探針長度:40mm;
探針
探針材質(zhì)硬質(zhì)合金,針尖曲率半徑2μm;


標準配置
:主工作臺、顯微鏡、USB接口CCD攝像頭、三維微調(diào)座2個、探針臂2支、探針2支。
可選配件:三維微調(diào)架、探針臂、探針、真空泵。

可按用戶的實際需求進行訂做。

下載ST-102E型探針測試臺產(chǎn)品資料(PDF)
實例:CV-2000電容電壓特性測試儀搭配ST-102A探針臺應(yīng)用于半導(dǎo)體分立器件工 藝監(jiān)測方案
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