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EM-30臺(tái)式掃描電鏡

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EM-30臺(tái)式掃描電鏡擁有EM-20型全部?jī)?yōu)秀特征以外,加速電壓調(diào)節(jié)范圍擴(kuò)展到30KV,首先對(duì)于選配EDS的用戶,分析能力獲提升,其次獲得更高電子光學(xué)分辨能力,有效放大倍數(shù)進(jìn)一步提高。另外EM-30樣品臺(tái)增加了馬達(dá)驅(qū)動(dòng)傾斜臺(tái),由酷塞目[COXEM]NanoStation計(jì)算機(jī)導(dǎo)航自動(dòng)操作,不但可實(shí)現(xiàn)立體對(duì)觀察,而且通過對(duì)樣品臺(tái)精細(xì)地調(diào)節(jié)角度,可使用樣品室SE探測(cè)器獲得良好的背散射電子圖像。

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    EM-30臺(tái)式掃描電鏡擁有EM-20型全部?jī)?yōu)秀特征以外,加速電壓調(diào)節(jié)范圍擴(kuò)展到30KV,首先對(duì)于選配EDS的用戶,分析能力獲提升,其次獲得更高電子光學(xué)分辨能力,有效放大倍數(shù)進(jìn)一步提高。另外EM-30樣品臺(tái)增加了馬達(dá)驅(qū)動(dòng)傾斜臺(tái),由酷塞目[COXEM]NanoStation計(jì)算機(jī)導(dǎo)航自動(dòng)操作,不但可實(shí)現(xiàn)立體對(duì)觀察,而且通過對(duì)樣品臺(tái)精細(xì)地調(diào)節(jié)角度,可使用樣品室SE探測(cè)器獲得良好的背散射電子圖像。  

技術(shù)特點(diǎn):
      *自動(dòng)高亮度電子槍,全數(shù)字化高壓電源,0.5KV~30KV范圍內(nèi)隨意調(diào)節(jié);
      *聚光鏡精細(xì)控制 Spot size設(shè)置10檔調(diào)節(jié);
      *圓錐形物鏡,具有更高分辨性能;
      *四孔可變光闌,分別用于高分辨觀察和不同的分析目的。
      *實(shí)時(shí)灰度直方圖,自動(dòng)亮度對(duì)比度;
      *X Y 兩軸自動(dòng)樣品臺(tái)  
      *可選Bse探測(cè)器、低真空功能和能譜儀。
      *酷塞目NanoStation操作軟件,內(nèi)含豐富的圖像編輯處理功能

技術(shù)指標(biāo):

分辨率:5nm@30kv SEI 
電子槍:發(fā)叉式鎢絲陰極, 預(yù)對(duì)中燈絲
放大倍數(shù):X20 to X100,000
加速電壓:1kV to 30kV 
探測(cè)器:SE Detector,EDS/BSE(可選) 
真空系統(tǒng):全自動(dòng)渦輪分子泵系統(tǒng),高真空時(shí)間小于3分鐘  
樣品臺(tái):X axis:35mm(馬達(dá)驅(qū)動(dòng)) 
        Y axis:35mm(馬達(dá)驅(qū)動(dòng)) 
        T  axis: 0~45°(馬達(dá)驅(qū)動(dòng))
        Z axis:5-50mm 
       R axis:360度 
樣品尺寸:45mm(H),70mm(Diameter) 
視頻采集分辨率(Pixel):選區(qū)(320x240),TV(640x480),Slow(800x600), 
                         Photo(1280x960,2560x1920,5120x3840) 
幀頻:選區(qū) (Max.30 frames/sec),
         TV   (Max.10 frames/sec) 
         Slow (Max.2 frames/sec) 
自動(dòng)功能:一鍵成像,自動(dòng)燈絲飽和,自動(dòng)聚焦,自動(dòng)亮度對(duì)比度
計(jì)算機(jī)操作系統(tǒng):Windows 7 
操作方式:鍵盤/鼠標(biāo),全觸摸屏操作(可選) 
外形尺寸:400(W)x 600(L)x 550(H)mm 
重量:80kg 


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