當(dāng)今科學(xué)界的科學(xué)實(shí)驗(yàn)需要越來越精密的計(jì)算和測(cè)量,因此一個(gè)能與外界環(huán)境和干擾相對(duì)隔離的設(shè)備儀器對(duì)實(shí)驗(yàn)的結(jié)果測(cè)量時(shí)非常重要的。能夠固定各種光學(xué)元件以及顯微鏡成像設(shè)備等的光學(xué)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)也成為科研實(shí)驗(yàn)中的產(chǎn)品。
BILZ旗下LTO光學(xué)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)采用新型隔振機(jī)構(gòu)，大幅度提高了超微振動(dòng)絕緣性能。在半導(dǎo)體行業(yè)等超精密加工領(lǐng)域，制造、檢驗(yàn)、測(cè)量的精細(xì)程度須達(dá)到納米級(jí)和埃級(jí)，BILZ LTO光學(xué)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)捕捉了這種時(shí)代的需求。
LTO光學(xué)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)產(chǎn)品，除采用新型隔振機(jī)構(gòu)以外，還擁有考慮了振動(dòng)絕緣的臺(tái)架結(jié)構(gòu)，與設(shè)置環(huán)境四配的簡(jiǎn)單設(shè)計(jì)，以及操作方便的眾多可選擇品種。他們能為高分辨率檢查、超微細(xì)部觀黎及測(cè)定等的精細(xì)業(yè)務(wù)提供高性能的隔振效果。
BILZ光學(xué)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的特點(diǎn)是的品質(zhì)和功能。
產(chǎn)品描述
可調(diào)節(jié)臺(tái)腳，抗扭曲，焊接鋼結(jié)構(gòu)。
框架和板之間采用薄膜空氣彈簧隔振裝置BiAir（垂直固有頻率大約2Hz）。
機(jī)械氣動(dòng)水平控制（水平精度± 1/100 mm 或者± 1/10 mm)。
應(yīng)用范圍：
激光光學(xué)儀系統(tǒng)。
特殊的顯微鏡。
光學(xué)平臺(tái)
天然高阻尼 HD 鋁蜂窩芯 無螺紋金屬蓋板。
天然高阻尼HDT鋁蜂窩芯 螺紋金屬蓋板。
結(jié)構(gòu)說明
蓋板：5mm 表面密迪紋拋亞光處理磁性不銹鋼平臺(tái)。
工作面精度：平面粗糙度優(yōu)于0.8μm，平面度為≤0.10 ㎜/㎡。
基板：鋼板。
螺紋：M6（HDT）。
核心：（HD/T）0.1mm 鋁制蜂窩芯與金屬板用特殊樹脂粘接精密成型。
螺紋：平臺(tái)表面布有標(biāo)準(zhǔn)公制螺紋孔M6，孔距分別為25mm×25mm 均布陣列孔，邊排孔中心距邊均為50mm。
光學(xué)平臺(tái)重量較輕，提供的阻尼。
BILZ LTO 阻尼特性蜂窩板已被優(yōu)化，HD 系列內(nèi)部高阻尼系數(shù)將高頻共振和典型的高頻范圍振動(dòng)消除。
德國BILZ產(chǎn)品范圍： 復(fù)合橡膠氣體彈簧FAEBI®，電子氣動(dòng)水平控制系統(tǒng)EPPC™，比爾茨桌面式隔振臺(tái)，隔振墊，水平調(diào)節(jié)件，精密楔形隔振座，薄膜空氣彈簧BiAir®，主動(dòng)隔振系統(tǒng)AIS™，消磁系統(tǒng)，LTH隔振臺(tái)，測(cè)量技術(shù)和振動(dòng)分析，比爾茨產(chǎn)品附件
統(tǒng)
