產品用途：

一般用于材料及產品的應力釋放，特別是晶圓或者微電子材料的應力釋放。在高溫環(huán)境中，半導體及金屬材料極易氧化，所以需要抽真空與充氮氣聯(lián)動加以保護。同樣的這些材料也更容易受到灰塵污染，100級甚至更高的潔凈度可保護這些材料不被污染。

型號

ZK-DQKX-072

ZK-DQKX-270

ZK-DQKX-480

ZK-DQKX-600

ZK-DQKX-720

ZK-DQKX-1000

內箱尺寸

40×45×40

60×90×50

80×100×60

100×100×60

100×120×60

100×100×100

W×H×D (cm)

外箱尺寸

72×116×56

93×163×67

110×172×77

130×172×77

116×170×116

116×150×166

W×H×D(cm)

溫度范圍

室溫+25℃～200℃（300℃） RT+25℃～200℃(300℃)

溫度波動度

±0.3℃

溫度均勻度

±1%℃

解析精度

0.1℃

氧氣濃度

0-2000 PPM

升溫時間

30分鐘

外箱材質

冷軋板+烤漆

內箱材質

SUS#201不銹鋼板（200℃以上材質為SUS#304不銹鋼板）

隔熱材質

*

循環(huán)系統(tǒng)

離心風機風循環(huán)系統(tǒng)

加熱系統(tǒng)

SUS#不銹鋼高速加熱器

控制系統(tǒng)

按鍵式數(shù)顯控制器

氮氣系統(tǒng)

流量計+壓差表（選配氧氣分析儀）

附件

控制狀態(tài)指示燈，隔層架（2個，高度可調）

安全裝置

相序保護，超溫，過流，過載

電源

AC 3Ψ 380V 60/50Hz

定制服務

非標特殊要求，可定制

結構設計：

A、材質：內部采用不銹鋼板制造，外部SS41鋼板鐵材加防銹處理及粉體烤漆

B、保溫：采用高密度100K的耐高溫保溫棉﹐六面保溫絕熱。

C、門   ：單開門式,美式全開后鈕，門四周皆裝置耐高溫硅膠迫緊,堅固耐用.

D、換氣裝置：換氣量采用全進全出可調式風門,可直接與排風管連接.

E、機臺滑輪：采滑輪移動調整擺放位置與強力螺栓固定位置

F、箱內盤架：標配可活動調整柵盤架或不銹鋼條狀柵盤二只

G、送風系統(tǒng)：特制耐高溫烤箱專用馬達，配合多翼式風輪高速運轉及單面水平送風循環(huán),溫度均勻。

H、電熱系統(tǒng)：采用覆套式電熱器無塵化電熱發(fā)生器，低輻射熱不易氧化，耐用期限5～10年。

產品特點：

1. 內外箱材質：外箱為鋼板烤漆 內膽為鏡面不銹鋼

2. 保溫材質： 高效壓縮*

3. 保溫裝置： 無熔絲開關，超溫保護開關，瓷質保險絲

4. 配 件： 可調隔層板2-6件

5. 電 源： 3ф380VAC±10%或2ф220VAC±10%在地

6. 風機延時斷電功能(可另購配程控)

7.高溫氮氣烘箱保險裝置: 次超溫報警,第二次超溫切電功能,MCCB過載保護,溫度自整定,電熱鰭片式散熱管形電熱管

8. 運風系統(tǒng)： 強制送風循環(huán)系統(tǒng)及特別設計出風口,溫度分布均勻度特佳

9. 控制形成 ：溫度到達設定溫度后自動打開時間計,時間到達后切斷發(fā)熱電源,蜂鳴提示