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高精度薄膜氣囊式隔振器

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產(chǎn)品介紹:薄膜式氣囊彈簧隔振裝置具有很高的隔振效果,為了獲得盡可能高的阻尼效果,空氣位置劃分成兩個氣室(承載/阻尼量)通過一根空氣管連接

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產(chǎn)品介紹:

薄膜式氣囊彈簧隔振裝置具有很高的隔振效果,為了獲得盡可能高的阻尼效果,空氣位置劃分成兩個氣室(承載/阻尼量)通過一根空氣管連接。通過調(diào)節(jié)閥,可以方便從外部對阻尼進行調(diào)節(jié)。

配套機械氣動水平控制閥可以用于克服空氣彈簧隔振的機器由于發(fā)生載荷變化而造成機器傾斜問題,通過改變有體彈簧隔振裝置中的空氣壓力可以控制B部件高度與水平。即使其重心發(fā)生變化,快充氣和放氣也可以保持機器處于水平狀態(tài)精度土1/100mm 或土1/10mm)。重復(fù)定位精度可達0.03-0.1mm。

固有頻率:2Hz3Hz,隔振效率達90%-95%以上。
負載范圍:126 kg至385 kg,也可以提供更高負債的。

也可以提供固有頻率更高要求為 0.8 Hz-1.5Hz 的此類產(chǎn)品


常規(guī)表:

型號

負載(kg)

D

H充氣前

H充氣后

L

PML2

120

80

65

70

158

PML3

220

100

65

70

178

PML5

350

130

95

100

208

應(yīng)用領(lǐng)域:

光學實驗、光通信、光譜實驗、激光干涉、 全息應(yīng)用、激光微細加工、精密計量儀器等, 如半導體和晶圓加工,光學和鏡片制造以及非標準化材料加工。高精度定位設(shè)備包括鉆石車削機床、X-Y坐標機和CD計量儀,表面光度儀,輪廓度儀,粗糙度儀和圓度儀等設(shè)備等。



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