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MX61A大尺寸智能型全自動半導(dǎo)體檢查顯微鏡

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MX61A大尺寸智能型全自動半導(dǎo)體檢查顯微鏡

  MX61A是一款專門設(shè)計的半導(dǎo)體顯微鏡,大尺寸檢查顯微鏡,全自動顯微鏡,MX61A顯微鏡可使操作人員以正確的人體工程學(xué)姿勢進行操作,有利于操作人員在長時間的工作中順利進行檢測,保證了工作的效率和產(chǎn)品一體化。

  始終提供觀察影像的光學(xué)系統(tǒng)

  提供擴展性的解決方案

  實現(xiàn)對人和環(huán)境都沒有危害的自動化

  幫助實現(xiàn)多種觀察的附件

全自動半導(dǎo)體檢查顯微鏡 MX61A 規(guī)格 

光學(xué)系統(tǒng) 

UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠校正) 

機身 

觀察方法 

明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光 

反射/透射 

反射 

照明裝置 

機身一體型(明視場、暗視場+1選件) 

照明系統(tǒng) 

反射照明 

100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 

透射照明 

對焦單元 

電動/手動 

電動 

行程 

25.4 mm 

分辨率/微調(diào)靈敏度 

分辨率0.01 μm 

樣本高度 

24 mm 

物鏡轉(zhuǎn)換器 

電動型 

明視場微分干涉6孔 

明暗視場微分干涉5孔 

明暗視場微分干涉6孔 

明暗視場微分干涉中心補正5孔 

手動式 

載物臺 

行程 

14×12英寸右下手柄:356(X)×305(Y)mm 
8×8 英寸右下手柄:210(X)×210(Y)mm 

觀察筒 

廣角視場(視場數(shù)22) 

倒置 

正像 

超寬視場(視場數(shù)26.5) 

倒置 

正像 

傾斜三目觀察筒 

附件單元 

自動調(diào)焦/DUV單元/IR單元/電動載物臺/自動裝載 

外形尺寸 

711(W)×853(D)×552(H)mm(標(biāo)準(zhǔn)組合) 

重量 

56 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合) 


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