一、儀器的用途：
YKGP-600大平臺(tái)硅片顯微鏡主要用于太陽能電池硅片的觀察。它能生產(chǎn)高清晰的圖像,立體感較強(qiáng)，成像較清晰和寬闊，又具有長工作距離，并具有較大的視場范圍和相應(yīng)的放大倍數(shù),配有高像素的數(shù)碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務(wù).是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡。
大平臺(tái)硅片檢測顯微鏡可以觀察到太陽能電池硅片肉眼難觀測的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格, 是太陽能電池硅片生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行質(zhì)量控制最普通的儀器。
二、系統(tǒng)簡介
大平臺(tái)硅片顯微鏡系統(tǒng)是將傳統(tǒng)的光學(xué)儀器與計(jì)算機(jī)（數(shù)碼相機(jī)）通過光電轉(zhuǎn)換器有機(jī)地結(jié)合在一起，能在計(jì)算機(jī)（數(shù)碼相機(jī)）顯示屏幕上觀察實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)圖像，并能將所需要的圖片進(jìn)行編輯、保存和打印。
三、技術(shù)參數(shù)、
1.目鏡
類 型 | 放大倍數(shù) | 視場（mm） |
大視野目鏡 | 10X | Φ18 |
2.物鏡
類 型 | 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑（NA） | 工作距離（mm） |
長距平場消色差物鏡 | 5X | 0.12 | 26.1 |
10X | 0.25 | 20.2 |
20X | 0.40 | 3.00 |
40X | 0.60 | 3.98 |
80X | 0.80 | 2.08 |
3.光學(xué)放大倍數(shù)：50X-600X
4.三目頭: 30?傾斜(內(nèi)置檢偏振片,可進(jìn)行切換)
5.轉(zhuǎn)換器：五孔內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位
6.載物臺(tái)：三層機(jī)械移動(dòng)式尺寸: 250mmX230mm,移動(dòng)范圍: 154mmX154mm
三層機(jī)械移動(dòng)式尺寸: 280mmX270mm,移動(dòng)范圍: 204mmX204mm (可另選）
7.調(diào)焦機(jī)構(gòu)：載物臺(tái)升降,粗微動(dòng)同軸調(diào)焦, 微動(dòng)格值0.7μm, 粗動(dòng)松緊可調(diào),帶鎖緊和限位裝置
8.落射照明系統(tǒng): 6V 30W 鹵素?zé)? 亮度與燈炮位置可調(diào), 內(nèi)置視場光欄、孔徑光欄、推拉式檢偏器與起偏器,配置： 黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃濾色片轉(zhuǎn)換裝置
9.防霉系統(tǒng)
四、系統(tǒng)組成
YKGP-600型：1.硅片顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器（CCD） 4.圖像采集卡 5.軟件
五、選購件
1.目鏡： 10X(分劃） 2.物鏡： 50X 60X 100X（干）
