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日立 微型采樣系統(tǒng)

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產(chǎn)品介紹 微型采樣方法(已在日本和美國取得)已在半導(dǎo)體器件分析領(lǐng)域成為一款工具，它正迅速向更小制樣方向發(fā)展。僅用一小時左右即可獲得一個微小樣品，以便于STEM分析，其定位精度可達(dá)到0.1 µm以下。

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產(chǎn)品介紹：


優(yōu)異的高效分析性能

微型采樣方法(已在日本和美國取得)已在半導(dǎo)體器件分析領(lǐng)域成為一款工具，它正迅速向更小制樣方向發(fā)展。僅用一小時左右即可獲得一個微小樣品，以便于STEM分析，其定位精度可達(dá)到0.1 μm以下。


產(chǎn)品特點：


聚焦離子束(FIB)微采樣裝置和聚焦離子束(FIB)微采樣方法



聚焦離子束(FIB)微柱狀制樣實例

一個微柱狀樣品，包含一個直接從半導(dǎo)體器件上準(zhǔn)確地切割下來的分析點。改變?nèi)肷渚劢闺x子束(FIB)的方向，把微樣品切割或加工成任意形狀。



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