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晶圓厚度/粗糙度/翹曲度

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公司名稱 無錫顯諾光學(xué)科技有限公司
品牌
型號(hào)
所在地 無錫市
廠商性質(zhì) 其他
更新時(shí)間 2024/5/22 15:44:14
訪問次數(shù) 58

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促銷詳細(xì)：

2020年01月08日至 2020年02月08日

特價(jià)促銷

模內(nèi)澆口分離自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

我也要發(fā)布產(chǎn)品信息

1. 非接觸晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)，晶圓規(guī)格可支持至 12 寸；2. 采用色散共聚焦技術(shù)，可進(jìn)行單層、多層、帶膜晶圓等產(chǎn)品的厚度、TTV 翹曲、BOW、輪廓分析、粗糙度等的關(guān)鍵尺寸的測(cè)量；

詳細(xì)信息在線詢價(jià)

1. 非接觸晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)，晶圓規(guī)格可支持至 12 寸；

2. 采用色散共聚焦技術(shù)，可進(jìn)行單層、多層、帶膜晶圓等產(chǎn)品的厚度、TTV 翹曲、BOW、輪廓分析、粗糙度等的關(guān)鍵尺寸的測(cè)量；

3. 半自動(dòng)系統(tǒng)，使用多個(gè)晶圓固定裝置與計(jì)算機(jī)控制的 XYZ 軸；

4. 晶圓的厚度測(cè)量范圍為 5um 至 24mm；

5. 支持用戶自定義制定測(cè)量程序，測(cè)量路徑可采樣固定樣式的路徑也可以隨意，比能保存整個(gè)測(cè)量過程，同類樣品，可直接復(fù)用；

6.支持多種測(cè)量模式：?jiǎn)吸c(diǎn)測(cè)量、線掃測(cè)量、面掃測(cè)量等，通過線掃或面掃測(cè)量可有效濾除零件表面粗糙度對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。

7. 多種測(cè)量結(jié)果呈現(xiàn)形式（表格，2D 繪圖，3D 偽彩圖）；

8. 可選配視覺引導(dǎo)模組，進(jìn)行晶圓 MAP 圖的建立及精準(zhǔn)的測(cè)量點(diǎn)位規(guī)劃（適用于有圖晶圓）

9. 可選配圖像尺寸測(cè)量模塊，進(jìn)行平面尺寸測(cè)量；

10. 可選配白光干涉測(cè)量模塊，進(jìn)行納米級(jí)的粗糙度和 3D 形貌測(cè)量；

11.支持 SECS/GEM 標(biāo)準(zhǔn)通訊協(xié)議；


晶圓測(cè)厚模塊	粗糙度模塊	輪廓測(cè)量模塊

厚度測(cè)量		平面度測(cè)量
精度	0.5um	范圍	0-1000um
分辨率	0.1um	分辨率	1um
		精度	3um±1%
粗糙度測(cè)量：測(cè)量范圍 Ra （0.025um~50um）（注：需單獨(dú)增加粗糙度測(cè)量模組）翹曲具備自動(dòng)計(jì)算翹曲