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紅外顯微鏡配備的5X到100X紅外(IR)物鏡,提供了從可見(jiàn)光波長(zhǎng)到近紅外的像差校正。

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紅外顯微鏡配備的5X到100X紅外(IR)物鏡,提供了從可見(jiàn)光波長(zhǎng)到近紅外的像差校正。

對(duì)于高放大倍率的物鏡,配備了LCPLN-IR系列帶校正環(huán)的物鏡,校正由樣品厚度導(dǎo)致的像差,使用一個(gè)物鏡即可獲取清晰的圖像。

電子設(shè)備在當(dāng)今現(xiàn)代科技中已非常普遍。每個(gè)人很有可能已經(jīng)在使用電子設(shè)備時(shí),間接遇到并使用了硅晶圓。 晶圓是一種薄的半導(dǎo)體材料基材,用于制造電子集成電路。半導(dǎo)體材料種類多樣,電子器件中*常用的一種半導(dǎo)體材料是硅 (Si)。硅晶圓是集成電路中的關(guān)鍵部分。它由高純度、幾乎無(wú)缺陷的單晶硅棒經(jīng)過(guò)切片制成,用作制造晶圓內(nèi)和晶圓表面上微電子器件的基板。硅晶圓會(huì)積累在生長(zhǎng)、切割、研磨、蝕刻、拋光過(guò)程中的殘余應(yīng)力。因此,硅晶圓在整個(gè)制造過(guò)程中可能產(chǎn)生裂紋,如果裂紋未被檢測(cè)到,那些含有裂紋的晶圓就在后續(xù)生產(chǎn)階段中產(chǎn)生無(wú)用的產(chǎn)品。裂紋也可能在將集成電路分割成單獨(dú) IC 時(shí)產(chǎn)生。因此,若要降低制造成本,在進(jìn)一步的加工前,檢查原材料基材的雜質(zhì),裂紋以及在加工過(guò)程中檢測(cè)缺陷非常重要。


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