超高真空薄膜X射線譜學系統(tǒng)，可以在超高真空條件下開展薄膜相關(guān)的掠入射X射線譜學實驗。該系統(tǒng)配備有樣品中轉(zhuǎn)存放臺，樣品可以在不暴露大氣的情況下，利用真空手提箱或者真空進樣腔室傳遞到樣品中轉(zhuǎn)存放臺上。在測試室對薄膜樣品進行掠入射硬X射線吸收/衍射/散射信號的測量。該系統(tǒng)配置一個高精度6自由度并聯(lián)位移平臺，可帶動整個腔體相對X射線光束線的精密位置調(diào)整。

六自由度并聯(lián)平臺參數(shù)

運 動 維 度 ：X、Y、Z、α、β、Ψ

X、Y 行程 ：±8mm、±8mm
Z 行程 ：±9mm
α、β行程 ：±3°
Ψ 行程 ：±5°
推進設(shè)備分辨率：1μm
X、Y運動精度：5μm
Z運動精度：3μm
X、Y重復運動精度：3μm
Z重復運動精度：2μm
α、β運動精度：0.069mrad
X、Y移動速度：1mm/s
Z移動速度：2mm/s
負載（水平）：100Kg
斷電保持力：20Kg
質(zhì)量：10.5Kg
尺寸（直徑*高度）：390*310mm

特點

· 超高真空實驗環(huán)境

· 樣品變溫測試環(huán)境（300K~1000K）

· XAFS實驗（TEY全電子產(chǎn)額模式和PFY熒光產(chǎn)額模式可同時進行）

· GIXRD掠入射衍射實驗

· 超高真空條件下樣品傳遞

真空度

樣品切光曲線