可選用氧氣、氮氣、氬氣等作為反應(yīng)氣體，進行表面處理清潔、表面反應(yīng)。

應(yīng)用領(lǐng)域：

試樣表面碳污染處理，腔體內(nèi)壁面清潔，材料表面濺射處理。

作用機理：

(1)物理清潔：為離子轟擊，清潔強度取決于離子動能。所有種類的氣體均可充入，氬氣清潔作用。

(2)化學(xué)清潔：氧氣充入后產(chǎn)生電離反應(yīng)，帶有化學(xué)活性的氧離子可以對表面的污染物進行反應(yīng)，達(dá)到清潔作用。

參數(shù)：

材質(zhì)：不銹鋼
供電電壓： AC220V
功率： 整機功率不超過150W

工作氣壓： 5~50Pa
安裝接口規(guī)格： DN35CF刀口法蘭

系統(tǒng)漏率： 5X10^-11Pa*M³/S

可烘烤溫度：120°C

微波等離子源通氣實拍

氧氣：

氬氣：

氮氣：