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αL4X-911R1 主動(dòng)隔振系統(tǒng)(電子顯微鏡、半導(dǎo)體設(shè)備專用)

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日本特許機(jī)器株式會(huì)社(TOKKYOKIKI)成立于1969年,是世界防振、消磁產(chǎn)品的制造商,一臺(tái)主動(dòng)式除振裝置實(shí)用機(jī)由TOKKYOKIKI于1988年在日本半導(dǎo)體展示會(huì)上推出,TOKKYOKIKI一直致力研究,精密穩(wěn)定,堅(jiān)固耐用的防振產(chǎn)品、振動(dòng)分析儀器和各行業(yè)防振設(shè)備,以滿足各領(lǐng)域不同產(chǎn)業(yè)的不同需求

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日本特許機(jī)器株式會(huì)社(TOKKYOKIKI)成立于1969年,是世界防振、消磁產(chǎn)品的制造商,一臺(tái)主動(dòng)式除振裝置實(shí)用機(jī)由TOKKYOKIKI于1988年在日本半導(dǎo)體展示會(huì)上推出,TOKKYOKIKI一直致力研究,精密穩(wěn)定,堅(jiān)固耐用的防振產(chǎn)品、振動(dòng)分析儀器和各行業(yè)防振設(shè)備,以滿足各領(lǐng)域不同產(chǎn)業(yè)的不同需求。

αL4X-911R1主動(dòng)式隔振平臺(tái)是結(jié)合了空壓(低頻)和線性馬達(dá)(高頻)的兩種優(yōu)點(diǎn),專為掃描電子顯微鏡而設(shè)計(jì)的高精密隔振平臺(tái)。

本主動(dòng)隔振系統(tǒng)可將影響儀器設(shè)備正常工作的安裝場地的細(xì)微振動(dòng),在所有頻率范圍內(nèi)予以全面衰減而不降低儀器設(shè)備本身具有的各項(xiàng)性能。


αL4X-911R1的基本原理和功能

利用加速度傳感器檢測地板的振動(dòng),通過6自由度的反饋及前饋控制的雙重主動(dòng)控制,由氣動(dòng)和線性馬達(dá)執(zhí)行器來實(shí)現(xiàn)振動(dòng)衰減,消除影響電子顯微鏡正常工作的安裝場地的細(xì)微振動(dòng),滿足電子顯微鏡廠商提供的允許振動(dòng)值。

技術(shù)參數(shù):

名稱

技術(shù)參數(shù)和指標(biāo)

主動(dòng)隔振平臺(tái)

標(biāo)準(zhǔn)外形尺寸:902×1102×152(浮起時(shí)155)mm

其他尺寸可定制

主動(dòng)隔振單元

內(nèi)含加速度傳感器,位移傳感器及空氣伺服閥。

隔振范圍

0.5Hz~100Hz

隔振效果(值)

0.5Hz~1Hz:≤-20dB

1Hz~10Hz:-20dB ≤-40dB

10Hz以上:≥ -40dB

加速度傳感器

頻率范圍:DC-400Hz

最小分辨率:≤1*10-6m/sec2

耐沖擊參數(shù):1000m/sec2

位移傳感器

最小分辨率:≤3um

行程范圍:1-5mm

控制器

輸入/輸出控制信號(hào)采樣頻率

加速度:2000Hz 位移:125Hz

分辨率 輸入:18bit 輸出:16bit


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