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大口徑光學(xué)元件散射缺陷檢測儀

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大口徑光學(xué)元件散射缺陷檢測儀(ModelLSDI-2000-LA)，適用于大口徑光學(xué)材料、半導(dǎo)體材料和金屬等材料拋光后的表面缺陷檢測和分析

詳細(xì)信息 在線詢價

大口徑光學(xué)元件散射缺陷檢測儀(Model LSDI-2000-LA)，適用于大口徑光學(xué)材料、半導(dǎo)體材料和金屬等材料拋光后的表面缺陷檢測和分析。本系統(tǒng)是一款非接觸式、全自動的檢測儀器，能夠高速檢測待測表面的劃痕、麻點、臟污等特性。

產(chǎn)品特征

1. 高速度

2. 高靈敏度

3. 高重復(fù)性

4. 全自動操作

5. 可根據(jù)不同標(biāo)準(zhǔn)自動判別

主要技術(shù)參數(shù)
大口徑光學(xué)元件散射缺陷檢測儀

型號

LSDI-2000-LALSDI-3000-LA

檢測方式

全自動全自動

檢測靈敏度

≤ 500nm65 nm~90 nm

樣品尺寸

米級

φ 300 mm

注：可以根據(jù)客戶需求提供同類特制儀器和相關(guān)測試的解決方案。


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