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返回產(chǎn)品中心>儀器簡(jiǎn)介：手動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀使用消光法測(cè)量薄膜厚度和折射率；手動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)試過程中的起偏和檢偏角度
儀器簡(jiǎn)介：
手動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀使用消光法測(cè)量薄膜厚度和折射率；手動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)試過程中的起偏和檢偏角度。橢圓偏振法廣泛地應(yīng)用于固體基片上介質(zhì)薄膜的測(cè)量。在己有測(cè)定薄膜厚度的方法中，它是能測(cè)量到和精度的一類。
實(shí)驗(yàn)內(nèi)容：
1、了解并熟悉儀器的工作原理和性能
2、掌握如何利用設(shè)備測(cè)試樣品的方法
主要配置和參數(shù)：
序號(hào) | 名稱 | 規(guī)格和參數(shù) |
1 | 測(cè)量范圍 | 1nm-300nm |
2 | 測(cè)量最小值 | ≤1nm |
3 | 入射角 | 30°-90°誤差≤0.1° |
4 | 偏振器方位角讀數(shù)范圍 | 0°-180° |
5 | 度盤刻度 | 每格2度 |
6 | 游標(biāo)最小讀數(shù) | 0.05° |
7 | 光學(xué)中心高度 | 152mm |
8 | 工作臺(tái)直徑 | Φ70mm |
9 | 外形尺寸 | 730mm*230mm*290mm |
10 | 主機(jī)重量 | 20kg |
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