本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸1200mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

技術(shù)參數(shù)

1、電源：AC 220V   50Hz/60Hz  2.5KW

2、爐管旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速：0-7rpm

3、爐體傾斜角度：0-30°

4、加熱區(qū)域：400mm

5、工作溫度：最高1200℃（<2h），連續(xù)工作1100℃

6、控溫精度：±1℃

7、產(chǎn)率：2kg/爐

8、最大真空度：4.5×10-2torr

9、泄漏率：<0.1mtorr/s

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：1300mm×600mm×1200mm；重量：100kg

可選配件

1、310A不銹鋼管（外徑?60mm，內(nèi)徑?50mm，1220mm，工作溫度800℃）

2、MTS-02控制模塊