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YPI-MX系列 日本ygkcop玻璃基板/藍(lán)寶石表面檢查儀

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玻璃基板表面檢查裝置/藍(lán)寶石表面檢查裝置YPI-MX系列（自動轉(zhuǎn)移）
于透明玻璃基板的機(jī)器，也支持各種背面緞面基板。
傳感器自動對焦機(jī)制可實(shí)現(xiàn)高度精確的前后分離。

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于透明玻璃基板的機(jī)器，也支持各種背面緞面基板。
傳感器自動對焦機(jī)制可實(shí)現(xiàn)高度精確的前后分離。
 
 

設(shè)備規(guī)格

對應(yīng)板子尺寸
大200mm x 200mm 
（如果需要200mm以上，請與我們聯(lián)系）
掃描方式
XY掃描/Θ-X掃描（螺旋掃描）
吞吐率

 
□200mm（XY）約4分鐘
Φ200mm（Θ）2分鐘以內(nèi)
Φ150mm（Θ）1.5分鐘以內(nèi)
Φ100mm（Θ）1分鐘以內(nèi)
工作安裝
轉(zhuǎn)移機(jī)械手（背面吸力/邊緣夾具）
設(shè)備外形尺寸
寬1,530毫米x深1,300毫米x高1,903毫米
體重
約1,000kg
能量消耗
約2.0kW（100V）
待檢查的基材
硅晶片，透明玻璃基板，藍(lán)寶石基板，LT晶片，SiC等
低檢測靈敏度
透明玻璃基板0.2μm
硅晶圓0.1μm

 

深圳市秋山貿(mào)易有限公司

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