小的半英寸晶圓表面顆粒檢查設(shè)備。
小標(biāo)準(zhǔn)半英寸晶片表面上的異物（顆粒）的高速掃描實(shí)時(shí)顯示在觸摸屏顯示器上。

根據(jù)低規(guī)格檢查顯示/運(yùn)輸操作。
可以通過(guò)簡(jiǎn)單的操作快速掌握晶片的顆粒狀態(tài)。

　

 

小檢測(cè)粒徑為0.1μm。

測(cè)量結(jié)果示例

 

　　　

設(shè)備規(guī)格

掃描方式

螺旋掃描

工作安裝

低標(biāo)準(zhǔn)的自動(dòng)運(yùn)輸

能量消耗

AC100V /大10A

小檢測(cè)粒徑

0.1微米

重現(xiàn)性

σ/ X≦10％

測(cè)量時(shí)間

1分鐘以內(nèi)，包括運(yùn)輸（測(cè)量重復(fù)性90％或更高）

待檢查的基材

硅片等