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Transpector SPS 殘余氣體分析儀

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好處

  • 得益于單壓取樣入口，降低晶圓和面板保護(hù)的總擁有成本；是擴(kuò)散、外延和 RTP 等高壓過程的理想之選
  • 提供低漏氣量和污染監(jiān)測，確保恒定高壓過程
  • 通過強(qiáng)大數(shù)據(jù)采集與同步實(shí)現(xiàn)無縫工廠集成和可靠阻斷
  • 通過定制配方優(yōu)化增強(qiáng)*生產(chǎn)能力
  • 通過即時現(xiàn)場專家響應(yīng)保護(hù)關(guān)鍵過程需求

典型應(yīng)用

  • PVD 過程
  • 擴(kuò)散和外延過程
  • 蝕刻過程包括：金屬、電介質(zhì)、硅刻蝕,HDP-etch
  • CVD 過程包括：高 k 電介質(zhì)、HDP-CVD、LP-CVD、SA-CVD、CVD 低 k、PE-CVD

規(guī)格

類型 100 AMU SPS 200 AMU SPS 300 AMU SPS
分辨率 1 amu wide @ 10% peak height 1 amu wide @ 10% peak height 1 amu wide @ 10% peak height
總壓力范圍1 5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar) 5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar) 5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar)
總壓力精度2 ±25% 1E-6 to 1E-3 Torr (1.3E-6 to 1.3E-3 mbar) ±25% 1E-6 to 1E-3 Torr (1.3E-6 to 1.3E-3 mbar) ±25% 1E-6 to 1E-3 Torr (1.3E-6 to 1.3E-3 mbar)
大離子源工作壓力3 1E-3 Torr (1.3E-3 mbar) 1E-3 Torr (1.3E-3 mbar) 1E-3 Torr (1.3E-3 mbar)
標(biāo)稱工作壓力? 2E-4 Torr (2.6E-4 mbar) 2E-4 Torr (2.6E-4 mbar) 2E-4 Torr (2.6E-4 mbar)
系統(tǒng)工作壓力（帶孔板/劈刀） 1E-4 Torr to 1.2 atmospheres 1E-4 Torr to 1.2 atmospheres 1E-4 Torr to 1.2 atmospheres
靈敏度（@ 低發(fā)射、FC 模式） >4.0E-6 amps/Torr (>3E-6 amps/mbar) >2.0E-6 amps/Torr (>1.5E-6 amps/mbar) >1.0E-6 amps/Torr (>7.6E-7 amps/mbar)
靈敏度（@ 高發(fā)射、FC 模式） >2.0E-5 amps/Torr (>1.5E-5 amps/mbar) >1.0E-5 amps/Torr (>7.6E-6 amps/mbar) >5.0E-6 amps/Torr (>3.8E-6 amps/mbar)
小可檢測分壓? 1.0E-13 Torr (1.3E-13 mbar) 2.0E-13 Torr (2.6E-13 mbar) 4.0E-13 Torr (5.3E-13 mbar)
大數(shù)據(jù)速率 1.8 ms per point 1.8 ms per point 1.8 ms per point
豐度靈敏度? <5> <10> <100>
零沖擊? <2> <25> <200>
檢測限值? <1> <2> <4>
小背景壓力 <1.0e-8 torr=""><1.3e-8> <1.0e-8 torr=""><1.3e-8> <1.0e-8 torr=""><1.3e-8>
大傳感器和進(jìn)氣溫度 °C 150 150 150

1 使用總壓強(qiáng)鏡頭獲得的離子源壓強(qiáng)讀數(shù) @ 低發(fā)射

2 總壓強(qiáng)準(zhǔn)確度 @ 低發(fā)射

3 離子源大工作壓強(qiáng) @ 低發(fā)射

4 2x10-4 Torr 的離子源將在四極區(qū)域產(chǎn)生大約 1x10-5 Torr 的壓強(qiáng)

5 EM 開啟且保壓時間為 1 秒時離子源處的 MDPP

6 質(zhì)量數(shù) 40 對 41 AMU 的貢獻(xiàn)

7 零沖擊對 2 AMU 的貢獻(xiàn)

8 空氣中的氪的小可檢出濃度 @ 1 秒保壓時間


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