測量顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,電子工業(yè)進(jìn)行晶體,集成電路的檢驗和**測量.配備有冷光源光纖反射照明,成象和觀察系統(tǒng),偏光裝置.
光學(xué)成象系統(tǒng) Optical Imaging System
-----無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng),管鏡焦距200mm
Infinitive Optical systam, Tube Lens Focal Length 200mm
-----鉸鏈?zhǔn)饺跨R筒,30°傾斜, 瞳距55-75mm
Compensation Free Trinocular Tube, Inclined at 30°, Interpupillary Distance 55-75mm
-----高眼點,大視場目鏡WF10X/22
High Point and Wide Field Eyepiece WF10/22
-----長工作距離,平場復(fù)消色差物鏡2X/0.055, 5X/0.14, 10X/0.28, 20X/0.29, 50X/0.42
Long Working Distance, Plan Apo Objectives 2X/0.055, 5X/0.14, 10X/0.28, 20X/0.29, 50X/0.42
------五孔物鏡轉(zhuǎn)換器
Quintuple Nosepiece
調(diào)焦系統(tǒng) Focus Adjustment System
-----同軸粗微調(diào)焦機(jī)構(gòu),微動格值0.002mm
Coaxial Coarse & Fin Focus Adjustment System, Fine Division 0.002mm
載物臺 Stage
------ 6″x8″雙層活動平臺,移動行程153x204mm
6″x8″Double Layers Mechanical Stage, Move Range 153x204mm.
三維測量系統(tǒng) Three-dimensional Measurement System
-------分辨率: 1μm
Resolution: 1μm
-------測量精度: ±(2+L/200)μm
Measurement Exactitude: ±(2+L/200)μm
------重復(fù)定位精度: 2μm
Repeatedly Orientation Exactitude: 2μm
照明系統(tǒng) Illumination System
-------冷光源光纖反射照明器:150W
Dold Light Fiber Reflected Illnminator: 150W
完善和**的測量軟件
--------完整的幾何量測(如:點,線,圓,弧,角度等)
Complete Geometric Measurement(Point,Line,Circle, Arc etc.)
--------坐標(biāo)系的設(shè)定,擺正,旋轉(zhuǎn)
Enactment, Adjustment of Reference Frame
--------顯示方式多樣化;語言的轉(zhuǎn)換,公英制單位的轉(zhuǎn)換,角度的轉(zhuǎn)換
Diversity of Display: Conversion of Language, Measure and Angle
軟件介紹
完整的幾何量測（如：點、線、園、弧、角度等）。
坐標(biāo)系的設(shè)定，擺正、旋轉(zhuǎn)。
逆向工程功能以及與Auto CAD的同步操作使用以及與CAM的連接。
測量精準(zhǔn)度的校正和補(bǔ)償。
針對重復(fù)工件的量測有記憶、學(xué)習(xí)、自動編程的功能；快速準(zhǔn)確的現(xiàn)場實時測量。
顯示方式多樣化：語言的切換（中文簡體和繁體；英文等）；公英制單位的切換
（mm/inch）；角度的轉(zhuǎn)換（度、度／分／妙）；顯示數(shù)字的小數(shù)點可自設(shè)；各種線的顏色可自設(shè)
標(biāo)注隨意化：可依據(jù)不同的語言、顏色、格式在圖形的任何位置進(jìn)行標(biāo)注。
個性化的編輯：有復(fù)制、粘貼、刪除、剪切、延伸以及UNDO/REDO。
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