產(chǎn)品特性

觀測(cè)位置始終處于全幅對(duì)焦?fàn)顟B(tài)實(shí)時(shí)深度合成

無(wú)需焦點(diǎn)調(diào)整，全新觀測(cè)形式

3D顯示功能

技術(shù)參數(shù)

XY電動(dòng)載物臺(tái)

XY自動(dòng)載物臺(tái)2相步進(jìn)馬達(dá)

XY自動(dòng)載物臺(tái)分辨率：1μm（typ.）

XY自動(dòng)載物臺(tái)移動(dòng)速度：10mm/s（大）

XY自動(dòng)載物臺(tái)移動(dòng)量：±20mm

θ旋轉(zhuǎn)角±90°

XY載物臺(tái)尺寸：上方171mm×168mm（*圓板φ100）

透射照明觀測(cè)對(duì)應(yīng)倍率：20倍以上

Z電動(dòng)載物臺(tái)

Z自動(dòng)載物臺(tái)5相步進(jìn)馬達(dá)

Z自動(dòng)載物臺(tái)分辨率：0.1μm（typ.）

Z自動(dòng)載物臺(tái)移動(dòng)速度 ：17mm/s（大）

Z自動(dòng)載物臺(tái)移動(dòng)量：49mm

測(cè)量功能

物TRIPLE‘R功能

高分辨率尺寸測(cè)量功能

距離﹑角度﹑半徑﹑面積等

自動(dòng)計(jì)數(shù)/面積測(cè)量等

標(biāo)尺顯示功能

自動(dòng)邊緣檢測(cè)功能

全自動(dòng)圖像校正功能

一鍵圖像校正功能

測(cè)量點(diǎn)再設(shè)定功能

測(cè)量值自由顯示功能

尺寸顯示功能

測(cè)量輔助功能

CSV保存功能

3D彩色/標(biāo)尺顯示高度功能

2點(diǎn)間高度測(cè)量功能

3D輪廓測(cè)量

3D截面輪廓測(cè)量

3D體積測(cè)量

3D面之間的距離測(cè)量

3D面之間的角度測(cè)量

探頭參數(shù)

我司可提供多種類(lèi)型的探頭可滿(mǎn)足你不同的應(yīng)