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iNano iNano高精度臺(tái)式納米壓痕儀

參考價(jià)面議
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  • 公司名稱 上海納騰儀器有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào) iNano
  • 所在地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2020/11/4 19:39:12
  • 訪問次數(shù) 227

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KLA公司全系列的力學(xué)測(cè)試產(chǎn)品均采用電磁驅(qū)動(dòng)原理的加載力激發(fā)器, iNano高精度臺(tái)式納米壓痕儀。對(duì)納米壓痕物理模型和線性特性的電磁力驅(qū)動(dòng)原理的深刻理解,以及高靈敏度的三片式電容傳感器的設(shè)計(jì),保證全系列納米力學(xué)產(chǎn)品在整個(gè)量程范圍內(nèi)均能得到高精準(zhǔn)、高分辨的控制。50mN載荷范圍,3nN加載精度,0.002nm位移精度。

? 快速精準(zhǔn)的動(dòng)態(tài)納米壓痕測(cè)試

? 電磁加載方式

? 快速精準(zhǔn)的位移測(cè)量

? 超高框架剛度

? 熱漂移 <0.05nm/s



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