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TPY-2自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 天津市拓普儀器有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間 2020/10/28 20:32:59
  • 訪問(wèn)次數(shù) 216

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儀器介紹
    TPY-2自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀采用消光法自動(dòng)控制,自動(dòng)測(cè)量薄膜厚度和折射率,具有精度和靈敏度更高等特點(diǎn)。光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定、波長(zhǎng)精度高。儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件功能齊全,具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式,適用于不同用戶的需要。
 
規(guī)格參數(shù)
測(cè)量范圍薄膜厚度范圍:1nm-300nm;折射率范圍:1-10
測(cè)量厚度小示值(nm≤1
偏振器方位角范圍0°- 180°讀取分辨率為0.05°
偏振器步進(jìn)角0.014°/步
測(cè)量膜厚(nm±1
折射率重復(fù)性精度±0.01
度盤刻度每格1度
儀器測(cè)量精度(nm±0.5(薄膜厚度在10-100nm時(shí))
入射角調(diào)節(jié)范圍20°~90°精度為0.05°
入射光波長(zhǎng)(nm632.8
光學(xué)中心高(mm80
允許樣品尺寸(mm)φ10-φ140(或任意形狀),厚度≤15
外形尺寸(mm)590*390*320
主機(jī)重量(kg28
 
配置表
基本配置TPY-2橢圓偏振測(cè)厚儀主機(jī)1臺(tái)
TPY-2主機(jī)電控箱1套
 二氧化硅膜樣片1片
TPY-2橢圓偏振測(cè)厚儀軟件1套
需另配計(jì)算機(jī)及打印機(jī)1套


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