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橢偏儀

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激光橢圓偏振測厚儀（ELLIP-EY）適用于高校教學(xué)和工業(yè)薄膜測試為一款普及型的測試儀器。

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激光橢圓偏振測厚儀（ELLIP-EY）

適用于高校教學(xué)和工業(yè)薄膜測試為一款普及型的測試儀器。
 
產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：
波長 650nm
光源 半導(dǎo)體激光器
固定入射角 70度
測量模式 反射
測量方式 自動完成信號測量
實測光學(xué)常數(shù)種類復(fù)折射率 復(fù)介電常數(shù) 吸收系數(shù) 反射率
膜厚精度 ±1nm
系統(tǒng)定標(biāo)方式自洽、定標(biāo)
 
產(chǎn)品用途：
1.各種功能材料的光學(xué)常數(shù)測量和光譜學(xué)特性分析；
2.測量薄膜材料的折射率和厚度；
測量對象包括：金屬、半導(dǎo)體、超導(dǎo)體、絕緣體、非晶體、超晶格、磁性材料、光電材料、非線性材料；測量光學(xué)常數(shù)：復(fù)折射率的實虛部、復(fù)介電常數(shù)的實虛部、吸收系數(shù)a、反射率R.


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