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勻膠機,旋涂儀

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 科睿設備有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 所在地 上海市
  • 廠商性質
  • 更新時間 2019/12/18 9:24:09
  • 訪問次數(shù) 794

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MIDAS為勻膠機,旋涂儀(又稱為旋涂儀、甩膠機、Spin Coater等)的品牌,目前用戶超過1800臺,在高校、研究所及半導體產(chǎn)業(yè)享有很高的聲譽,高性價比。

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 MIDAS為勻膠機,旋涂儀(又稱為旋涂儀、甩膠機、Spin Coater等)的品牌,目前用戶超過1800臺,在高校、研究所及半導體產(chǎn)業(yè)享有很高的聲譽,高性價比。
勻膠機,旋涂儀有許多名稱:甩膠機、涂膠機、涂層機、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂膜儀等, 主要應用于溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作。其工作原理是高速旋轉基片, 利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上, 厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同, 也和旋轉速度及時間有關。
勻膠機適用于半導體、硅片、晶片、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學之用。
   馬達的皮實耐用性能及高速旋轉時轉速的穩(wěn)定性和均勻性是進口設備和國產(chǎn)設備的區(qū)別??!
   此型號勻膠機在國內高校研究單位被廣泛使用,是進口設備中性能價格比超高的型號,到貨期短(一般2周到貨),使用簡單(用戶均可自行安裝操作),維修快捷,3年內正常使用不會出問題。
  
技術參數(shù):

     時間 Time : 1~999秒,可調節(jié)
     基底尺寸 Substrate Size:   ~ 4英寸/~6英寸/~8英寸可選擇
     卡盤旋轉速度 Chuck Rotation Speed :  300~8000 rpm,直流伺服馬達/交流伺服馬達
     勻膠狀態(tài) Spin State:   50步,20個方案控制(數(shù)字程序編輯) 
     面板數(shù)字式編程,液晶顯示,操作方便
     碗腔尺寸 Bowl Size:   8英寸,鋁(經(jīng)陽極氧化工藝)/12英寸,SUS
     增/減速率 Accele/deceleration Rates:   可調節(jié)
     真空卡盤 Vacuum Chuck :  鋁(陽極氧化),乙縮醛(Acetal)
     電源 Electrical Power :  220V, 5A
     自帶無油真空泵 Oilless Vacuum Pump:   - 650 mmHg
     尺寸(mm) Dimension:   230 X 340 X 260 / 390 X 570 X 280

      主要特點:
     1) 桌上型勻膠機,涂膜厚度范圍:100nm~100um;
     2) 可用于光刻膠(PR),聚酰亞胺(Polyimide),金屬有機物(Metallo-organics),攙雜劑(Dopant),硅薄膜(Silica Film),以及大多數(shù)的有機溶液、水溶液;
     3) 緊湊型設計,用戶編輯、控制、存儲、取出涂膠程序,易于操作;
     4) 加速及減速速率基于設定的時間/轉速(Ramp Time/RPM value)自動計算;
     5) 用戶通過勻膠機前面板顯示屏和按鈕進行編輯、控制、存儲、取出涂膠程序,并進行實驗操作。

 


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