智能型多功能橢偏儀是一款針對單層和多層薄膜進行簡單，快速，精確表征和分析的工具。

多功能性設(shè)計，配置靈活，具備多角度測量能力，可方便實現(xiàn)在線與離線配置切換。

智能型多功能橢偏儀是一款針對單層和多層薄膜進行簡單，快速，精確表征和分析的工具。

多功能性設(shè)計，配置靈活，具備多角度測量能力，可方便實現(xiàn)在線與離線配置切換。

技術(shù)參數(shù)：

光譜范圍：450-1000nm

多種微光斑自動選擇

*光斑可視技術(shù)，可觀測任何樣品表面

CCD探測器

自動樣品臺尺寸：200mmX200mm；XYZ方向

自動調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm

主要特點：

· 一鍵式操作，直接報告輸出

·液晶調(diào)制技術(shù)，測量光路中無運動部件

· CCD 探測系統(tǒng)，快速全譜輸出

· 多個微光斑尺寸選擇，*可視技術(shù)

· 多角度測量

· 可實現(xiàn)在線測量配置