所 在 地：英國
技術參數(shù)
(1) 類型： CCI 干涉（相干相關干涉）
(2) 分辨率： 0.1 A
(3) 測量點數(shù)： 1,048,576 ( 1024 x 1024 點陣 )

主要特點 

•的相干相關算法 

•0.01nm分辨率 

•10-20秒測量時間 

•RMS重復性：0.03A      

Talysurf  CCI三維非接觸形貌儀采用CCI（技術的相干相關算法）干涉原理，可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關鍵尺寸，并計算關鍵部位的面積和體積。主要應用于數(shù)據(jù)存儲器件，半導體器件，光學加工以及MEMS/MOEMS技術以及材料分析領域。