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日本小坂ET200臺階儀

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日本小坂ET200臺階儀與AFM 的差異zui主要是觸針形狀不同,ET(俗稱Alpha-step)是R 2um/60度鉆石制、AFM 是蝕刻制,故幾乎無角度。

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日本小坂與AFM 的差異zui主要是觸針形狀不同,ET(俗稱Alpha-step)是R 2um/60度鉆石制、AFM 是蝕刻制,故幾乎無角度。也因此若純粹膜厚兩種都OK,差異是有些細微表面ET掉不進去,故nm以下的表面粗度則以AFM為主。
日本小坂主要特性
一. 再現(xiàn)性與線性度
再現(xiàn)性• • • 可達0.1nm
線性度• • •針對不同厚薄樣品,使用同一感度
二. 高解析度
高解析度• • •特別是針對thin film更佳
縱軸zui高解析度0.1nm
橫軸zui高解析度0.01um
可測定微細形狀
三. 低測定力
低測定力• • •效果可比擬非接觸
測定力10 ~ 500uN、1~50mgf 可任意設置
可測定軟質(zhì)材料面,如:ITO、COLOR FILTER、SPACER、PI…等.
【詳細咨詢】:北京泰亞賽福科技發(fā)展有限責任公司
【公司】:
【】:
【公司地址】:北京市朝陽區(qū)北苑路172號歐陸大廈A座1201室


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