白光干涉能夠進行高分辨率圖像的掃描，對表面進行分析。兩種工作模式-相移和白光掃描模式,能夠高精度測量粗糙或者光滑的樣品表面。

• 雙模式三維形貌儀
  特點：一臺設(shè)備上集成非接觸式白光干涉形貌儀+高精度原子力顯微鏡
   
  白光干涉
   
  白光干涉能夠進行高分辨率圖像的掃描，對表面進行分析。兩種工作模式-相移和白光掃描模式,能夠高精度測量粗糙或者光滑的樣品表面。
   
  •      的技術(shù)來實現(xiàn)高Z向分辨率
   
  •      白光干涉法和相移兩種模式實現(xiàn)Z方向的高分辨率。
  •      快速圖像處理系統(tǒng)達到400萬像素
  •      四色LED相機
   
  •      更大的垂直測量范圍達10毫米
   
  •      150 mmx150mm馬達控制平臺。
   
  •      樣品粗糙度，粗糙表面高度拋光后的光潔度以及表面結(jié)構(gòu)測量，如陶瓷、塑料和輥鋼。
   
  •      SPIP專業(yè)數(shù)據(jù)分析軟件
   
  原子力顯微鏡
   
  探針式輪廓測量能夠進行材料在納米尺度水平的測試。提供掃描范圍70 x70um，探針更換簡單。
   
  •      的技術(shù)來實現(xiàn)Z和XY方向上的高分辨率
   
  •      X,Y和Z方向上納米級的分辨率和精度。
  •      線性XY壓電陶瓷掃描
   
  •      包括振動和不振動的模式
   
  •      可選的側(cè)向力和相位模成像