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ICP過濾器替換部件

ICP型號                                              過濾器濾芯                         終過濾器部件編號

2x00/3x00/4x00/5x00/7x00/8x00    光譜儀風(fēng)扇前端的空氣過濾器         09995098

2x00/3x00/4x00                                   濾水器                                09904845

2x00/3x00/4x00                                濾水器濾芯                             09904846

2x00/4x00/5x00/7x00/8x00     用于射頻發(fā)生器進(jìn)氣口的空氣過濾器       N0775220

3x00                               用于射頻發(fā)生器進(jìn)氣口的可清洗空氣過濾器     02509115

3x00                               用于射頻發(fā)生器進(jìn)氣口的一次性空氣過濾器      09923517

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