一.用途無塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Prebaking)、涂膠后的軟烘焙Softbaking)

一.用途

無塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機構(gòu)。

二．特點：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避
免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE； 
4.采平面水平由后向前送風后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設(shè)計)方向送
風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
三．產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
1.名稱及型號：無塵烘箱  COL-2D-A
2.主要技術(shù)指標：
2.1無塵等級：Class 100;
2.2溫度范圍：常溫+25～ 200℃, 
2.3溫度均勻度：±1.5%（空載）
2.4溫度波動度：±0.5℃（空載）
2.5溫控精度：±0.1℃;
2.6烘箱擱板為活動形式。
2.7工作尺寸：W1110×H630×D720（兩箱式）
外形尺寸：W1980×H1975×D1545
2.8電源：380v , 50Hz，24Kw
3、箱體結(jié)構(gòu)：
3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；
3.2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機臺本身產(chǎn)生微塵；
3.3箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵；
3.4內(nèi)膽材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免
烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬
焊密封加工(防污染)。
4、溫控系統(tǒng)
4.1溫控器：韓國三元SP790溫控儀表
程式編輯：可編30個程式，每個程式可編300段.
顯示清晰直觀，可編程控制系統(tǒng)操作靈活方便，性能穩(wěn)定，工作更高效
4.2溫度測量：采用特制鍇裝鉑電阻。
4.3輸出被控制組件：SSR無接點訊號輸出。
5、完善的安全保護措施：漏電斷路器//控制線路保險絲裝置//超溫防止保護裝置//電熱過電流保護裝//馬達過電流保護//機臺異常蜂鳴器警示//逆向防止器//門面安全開關(guān)