主要技術(shù)指標電源：220V50Hz功率：極限真空度：工作溫度：RT-500℃

主要技術(shù)指標

電源：220V 50Hz

功率：<560w（不含真空泵）>

極限真空度：< e-6mbar（配合本公司設(shè)備使用可達到e-5mbar）="">

工作溫度：RT-500℃，精度±1℃（可根據(jù)實際需要提升溫度）

靶槍數(shù)量：2個（可選配其他數(shù)量）

靶槍冷卻方式：水冷

靶材尺寸：?2″，厚度0.1-5mm（因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同）

直流濺射功率：500W（可選）

射頻濺射功率：300W/500W（可選）

載樣臺：?140mm

載樣臺轉(zhuǎn)速：1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)

保護氣體：Ar、N2等惰性氣體

進氣氣路：質(zhì)量流量計控制2路進氣，每個流量為100SCCM

尺寸：500mm×560mm×660mm

整機尺寸：1300mm×660mm×1200mm

重量：160kg