產(chǎn)品信息

    特　點(diǎn)

   ●采用分光干涉法

   ●搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)（ 第4834847號(hào)）

   ●使用光學(xué)光纖，可靈活構(gòu)筑測(cè)量系統(tǒng)

   ●可嵌入至各種制造設(shè)備。

   ●實(shí)時(shí)測(cè)量膜厚

   ●可對(duì)應(yīng)遠(yuǎn)程操作、多點(diǎn)測(cè)量

   ●采用壽命長(zhǎng)、安全性高的白色LED光源

    測(cè)量項(xiàng)目

   ●多層膜厚解析

    用　途

   ●光學(xué)薄膜（超硬涂層、AR薄膜、ITO等）

   ●FPD相關(guān)（光刻膠、SOI、SiO2等）