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臺階測量儀

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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簡單介紹: 薄膜臺階形貌、粗糙度、波紋度。

詳細(xì)信息 在線詢價

詳情介紹:

測量范圍


導(dǎo)軌直線度:≤0.05μm/10mm(λ=0.25mm)
采數(shù)間隔:0.05μm
傳感器線性精度:0.1μm+0.2% f.s
傳感器量程/分辨率比:1:262144
輔助電子攝像單元:30萬像素
載物臺X、Y向定位精度:0.02mm
傳感器Z向移動定位精度:0.02mm
如需更多詳細(xì)產(chǎn)品信息,請與我們聯(lián)系!

儀器特點(diǎn)


采用氣浮隔振機(jī)臺隔離環(huán)境振動對測量的影響。
測力控制單元采用音圈電機(jī)實(shí)時控制以保證輕測量力。
測量時用罩殼隔離空氣流動對測量的影響。
采用電子攝像單元輔助測量調(diào)整及測量過程控制。
配置多維電動載物臺對零件測量部位進(jìn)行測量。


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