產(chǎn)品參數(shù)：

儀器精度：

? 儀器最小分辨率：0.01um

? 園度全值誤差(P+V) : 0.02um+0.0005Hum/mm（H為測量高度）(按國家標(biāo)準(zhǔn),國際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，園度誤差必須用最小區(qū)域法按全值評定)；如按半值評定：園度半值誤差(P或V) : 0.01um+0.00025um/mm（H為測量高度）

垂直測量軸精度：

? 直線度誤差 : 0.15um/100mm

? 全程直線度誤差: 0.3 um

? 垂直測量軸與轉(zhuǎn)臺主軸間的平行度誤差: 0.5 um

水平測量軸精度：

? 直線度誤差 : 0.4 um/100mm；0.8 um/100mm(全行程)

? 水平測量軸與轉(zhuǎn)臺主軸的垂直度誤差: 1 um

測量范圍：

? 可測工件直徑: 420mm

? 可測工件高度: 475mm

? 工作臺承載: 600N

? 工作臺直徑: 285mm（同行中）

? 最小測頭直徑0.3mm,可測DGX-2“過橋齒輪”（基準(zhǔn)孔直徑只有2mm）等的同軸度等。

? 最長測桿250mm,可測DGX-2 “殼體”等的圓柱度，同軸度，垂直度等。