本儀器主要適用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜（金膜），儀器操作簡單方便，是配合中小型掃描電子顯微鏡制樣的儀器

本儀器主要適用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜（金膜），儀器操作簡單方便，是配合中小型掃描電子顯微鏡制樣的儀器。
技術(shù)指標：
?玻璃處理室：∮100毫米，高度130毫米
?試樣臺尺寸：∮40毫米可同時放6個樣品杯
?金靶尺寸：∮58毫米
?真空系統(tǒng)：直聯(lián)旋片真空泵2升/秒
?真空檢測：皮氏計
?真空保護：20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空
?工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣專用進氣口和微量充氣調(diào)節(jié)
?可以濺射鐵、鈷、鉺