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德國Polytec MSA-100-3D顯微式測振儀可在大帶寬范圍內(nèi)實(shí)時測量被測物體的動態(tài)特性,分辨率高,同時記錄和分析XYZ三個方向的振動分量。

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德國Polytec MSA-100-3D顯微式測振儀可在大帶寬范圍內(nèi)實(shí)時測量被測物體的動態(tài)特性,分辨率高,同時記錄和分析XYZ三個方向的振動分量。


德國Polytec MSA-100-3D顯微式測振儀產(chǎn)品簡介:

MEMS系統(tǒng)的3D振動測量:

實(shí)物的振動通常是三維振動。雖然可選擇優(yōu)先顯示某特定方向的振動,但由于存在產(chǎn)品公差和其它影響,在其它空間方向也存在運(yùn)動分量。 MSA-100-3D顯微式激光測振儀可在大帶寬范圍內(nèi)實(shí)時測量被測物體的動態(tài)特性,分辨率高,同時記錄和分析XYZ三個方向的振動分量,每向的振幅分辨率均達(dá)到亞皮米級。


德國Polytec MSA-100-3D顯微式測振儀產(chǎn)品特點(diǎn):

實(shí)時振動測量,高達(dá)25MHz的大帶寬

用于面外和面內(nèi)振動測量,振幅分辨率達(dá)亞皮米級

單點(diǎn)式和全場掃描式振動測量

激光光斑小于4μm,橫向分辨率高

測試距離大,可達(dá)38mm

可與常見的MEMS商用探針測試臺兼容


德國Polytec MSA-100-3D顯微式測振儀典型應(yīng)用:

慣性傳感器,如加速度計(jì)和陀螺儀

微機(jī)電傳感器和致動器 (MEMS)

打印機(jī)噴墨頭

壓力傳感器薄膜

耳機(jī)、微型鏡頭等





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