SEM多功能濺射儀

桌面級(jí)SEM掃描電鏡多功能濺射儀，特別適用于FE-SEM高分辨掃描電鏡樣品的噴金以及樣品等離子體清洗等多種用途。
采用分子泵泵組獲得< 9*10-6 Torr本底真空，可以在mTorr氣壓下實(shí)現(xiàn)磁控濺射噴金，獲得更為細(xì)膩的金膜，以滿足FE-SEM高分辨掃描電鏡等樣品處理。
同時(shí)具備遠(yuǎn)程RF 射頻離子源實(shí)現(xiàn)樣品清洗，高效、低等離子體轟擊損傷。 
核心部件采用品牌無油分子泵組，*、無需操心真空系統(tǒng)和操作間環(huán)境泵油污染。
保證設(shè)備具有優(yōu)異的質(zhì)量與穩(wěn)定可靠性。觸摸屏界面操作，即插即用。