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Trymax - 干法刻蝕等離子去膠機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 香港電子器材有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時(shí)間 2021/3/2 19:45:22
  • 訪問次數(shù) 59

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荷蘭 Trymax

干法刻蝕等離子去膠機(jī)

模塊化設(shè)計(jì),腔體規(guī)格統(tǒng)一,可四選一等離子源組合 (包括:RIE, MW, MW+RF, DCP)。采用同一操作軟件,達(dá)至速度快、產(chǎn)能高的效果。

 

NEO200A 系列

Handling
   - Dual Cassette
   - 3 axis robot

Chammber Configurations
   - RF Only (13.56MHz)
   - Microwave Only (2.45GHz)
   - Dual Source RF / MW
   - DCP (13.56MHz)

100 to 200mm compatible

 


 

NEO300A 系列
Handling
   - Single Loadport (300mm)
   - 3 axis robot

Chammber Configurations
   - RF Only (13.56MHz)
   - Microwave Only (2.45GHz)
   - Dual Source RF / MW
   - DCP (13.56MHz)

200 to 300mm compatible

 


 

NEO3400 系列
Handling
   - up to 4 Loadports (300mm)
   - 4 axis robot with X-traverser

Chammber Configurations
   - RF Only (13.56MHz)
   - Microwave Only (2.45GHz)
   - Dual Source RF / MW
   - DCP (13.56MHz)

200 to 300mm compatible


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