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Cygnus 2 薄膜沉積控制器

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  • 概述
  • 規(guī)格
  • 零件號(hào)
  • 附件
  • 耗材
  • 下載

功能

  • INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得、的速率和厚度測量分辨率,即使在速率極低的情況下
  • Auto Z 技術(shù)通過自動(dòng)測定沉積材料的 Z 比值,可提高厚度測量的精度
  • 一個(gè) Cygnus 2 即可同時(shí)、單獨(dú)或以任何組合方式控制多 6 個(gè)來源,無需使用兩個(gè)或三個(gè)控制器
  • 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進(jìn)展?fàn)顩r
  • 10 Hz 測量
  • 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
  • USB 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能可存儲(chǔ)屏幕截圖、配方存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)記錄
  • 多個(gè)源厚度合計(jì)功能
  • 測量低密度、低速率材料的平均速率(使用穩(wěn)定源的低速率 OLED 摻雜材料沉積多 30 秒)
  • 速率顯示分辨率可達(dá) 0.001?
  • 4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長的真空傳感器電纜
  • 無沉積控制允許持續(xù)控制源,因?yàn)榛梢酝ㄟ^沉積室不斷循環(huán)
  • 6 個(gè)標(biāo)準(zhǔn) DAC 輸出和另外 6 個(gè)可選輸出用于來源控制、速率或厚度監(jiān)控
  • 可選以太網(wǎng)通信
  • 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

規(guī)格

類型 Cygnus 2
測量性能  
頻率分辨率 ±0.0035 Hz @ 6 MHz
厚度和速率分辨率/測量 (1) ±0.00433 ?
測量頻率范圍 6.0 to 4.5 MHz (fixed)
厚度精度 (2) 0.5%
測量周期 0.10 s
多個(gè)測量值平均 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
設(shè)計(jì)功能  
多傳感器測量 yes (up to 6 sensors)
Auto Z yes
共沉積 yes (up to 6 sensors)
過程配方和數(shù)據(jù)管理  
材料計(jì)劃 6 independent materials
USB 存儲(chǔ)器 yes
數(shù)據(jù)記錄 yes
硬件功能  
傳感器 (3)  
6
帶 CrystalTwo® 的雙 6 (with one CrystalTwo Switch per sensor input)
CrystalSix® 6
Crystal 12® 6
通用 6
來源控制  
來源數(shù)量 (4) up to 6
來源控制電壓 0 to +/-10 V, adjustable
輸出分辨率 15 bits over full range (0 to 10V)
坩堝位置 64
輸入 / 輸出  
輸入 14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground
輸出 8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs
記錄器輸出 (4) 0 to +10 V, adjustable
邏輯語句 100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement
通信  
標(biāo)準(zhǔn) RS232
可選 Ethernet
顯示器  
厚度分辨率

1 Å for 0 to 9.999 kÅ

10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ

100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ

1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ

速率分辨率

0.001 for 0 to 9.999 Å/s

0.01 for 0 to 99.99 Å/s

0.1 for 100 to 999.9 Å/s

操作  
電源要求

100 – 230 V (ac) +/- 15%

50 / 60 Hz +/- 3 Hz

工作溫度 0 to 50 C (32 to 122 F)
尺寸,不包括安裝件(高 x 寬 x 深) 5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm)
重量 13 lbs (5.9 kg)

(1) 工具/密度 = 100/1,基礎(chǔ)頻率 = 6 兆赫茲

(2) 隨過程變化;數(shù)值表示典型的精度

(3) 每種類型的大配置

(4) Cygnus 2 有 6 個(gè) DAC 輸出標(biāo)準(zhǔn),還可選擇再添加 6 個(gè)。  可將 12 個(gè)中的任何一個(gè)配置為來源控制電壓或記錄器輸出,但可同時(shí)控制的來源數(shù)量為 6

附件

名稱 說明
前裝式單傳感器 前裝式單傳感器
前裝式雙傳感器 前裝式雙傳感器
炫酷抽屜單傳感器 炫酷抽屜單傳感器
炫酷抽屜雙傳感器 炫酷抽屜雙傳感器
薄型雙傳感器 薄型雙傳感器
ALD 傳感器 ALD 傳感器
UHV 可烘烤傳感器 UHV 可烘烤傳感器
濺射傳感器 濺射傳感器
CrystalSix® 傳感器 CrystalSix® 傳感器
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
Crystal 12® 傳感器 Crystal 12® 傳感器
RSH-600 旋轉(zhuǎn)式傳感器 RSH-600 旋轉(zhuǎn)式傳感器
零件號(hào) 明細(xì)
755-262-G1 Handheld Power Controller
779-220-G1 CrystalTwo 開關(guān),15.2 cm (6 in.) BNC 電纜
779-220-G2 CrystalTwo 開關(guān),50.8 cm (20 in.) BNC 電纜
Oscillator kits (包括振蕩器和電纜)
781-611-G15 帶 4.6 米(15 英尺)電纜的 XIU PKG - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-611-G30 帶 9.1 米(30 英尺)電纜的 XIU PKG - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-611-G50 帶 15.2 米(50 英尺)電纜的 XIU PKG - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-611-G100 帶 30.5 米(100 英尺)電纜的 XIU PKG - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G15 帶 4.6 米(15 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空電纜和 6 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G30 帶 9.1 米(30 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空電纜和 6 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G50 帶 15.2 米(50 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空電纜和 6 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G100 帶 30.5 米(100 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU - 包括 4 米真空電纜和 6 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G15 帶 4.6 米(15 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空電纜和 20 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G30 帶 9.1 米(30 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空電纜和 20 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G50 帶 15.2 米(50 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空電纜和 20 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G100 帶 30.5 米(100 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空電纜和 20 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
Oscillator Only (未隨附電纜)
781-600-G1 XIU(振蕩器)- 用于長度為 15 至 183 厘米(6 至 72 英寸)的 XIU 至傳感器頭電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-600-G2 XIU(振蕩器)- 用于長度為 3 至 4 米(118 至 157 英寸)的 XIU 至傳感器頭電纜 - 與 Cygnus 2 或 IC6 配合使用
Cables
755-257-G6 15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜,XIU 至真空饋入件
600-1261-P15 4.6 米(15 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P30 9.1 米(30 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P50 15.2 米(50 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P100 30.5 米(100 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU

耗材

名稱 說明
石英監(jiān)控器晶體 石英監(jiān)控器晶體

手冊(cè)

  • Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|

手冊(cè)

  • Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller Operating Manual (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
  • Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller Operating Manual (Japanese) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
  • CrystalTwo Switch Instruction Sheet (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|

目錄

  • Thin Film Catalog (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
  • 薄膜目錄 |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|

其他文件

  • IC6/Cygnus 2 Datalogger (Project file) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
  • IC6/Cygnus 2 Datalogger (Install File) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|


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