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BAG402 中到超高真空真空計(jì)

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好處

  • 測量范圍從 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）
  • 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內(nèi)為表現(xiàn)出的重復(fù)性
  • 超壓檢測保護(hù)絲極，防止過早燒毀
  • 雙長使用壽命氧化釔銥絲
  • 自動發(fā)射電流選擇降低了控制復(fù)雜性
  • 傳感元件帶有板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，易于更換，可保證高再現(xiàn)性
  • 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

典型應(yīng)用

  • 對半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量
  • 工業(yè)鍍膜
  • 低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

規(guī)格

類型 BAG402
測量范圍 (空氣, 氧2, 一氧化碳, 氮2) 5×10-10 … 2.7×10-2
精度  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading ±15
重復(fù)性  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
除氣 (1)  
p < 7.2="" ×="">-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
壓強(qiáng), 大 bar (absolute) 2
溫度  
操作 (環(huán)境) °C 0 … +50
儲存 °C -20 … +70
法蘭口的烘烤，不帶BPG402-S電子單元 °C 80
供電電壓 +20 … +28
輸出信號模擬 (4)  
輸出信號 V 0 … +10
測量范圍 log / lin V 0 … +9
電壓 vs. 壓強(qiáng) volts per decade 1
錯誤信號 V > +10
負(fù)載阻抗, 小 k? 10
第二模擬輸出 none
設(shè)點(diǎn)繼電器  
設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 none
范圍  
繼電器觸點(diǎn)  
滯后  
觸點(diǎn)額定值  
數(shù)字功能 degas and emission
接口 (數(shù)字) (2) Diagnosis port
發(fā)射控制 manual
燈絲 two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir)
燈絲狀態(tài) / 繼電器 LED / relay
電氣連接 D-Sub, 9-pin, male
電纜長度，大值 m (ft.) 100 (330)
暴露于真空中的材料 Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內(nèi)部容積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 450 / 710
保護(hù)級別 IP30

1）除氣期間準(zhǔn)確性降低

2）不可同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和現(xiàn)場總線

零件號

BAG402
零件號 明細(xì)
353-600 BAG402 DSUB9 KF25
353-601 BAG402 DSUB9 CF40

附件

BAG402
零件號 明細(xì)
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)

備件

BAG402
零件號 明細(xì)
354-484 備用傳感器 BAG402 DN 25 ISO-KF
354-485 備用傳感器 BAG402 DN 40 CF-R

數(shù)據(jù)表

手冊

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