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ALD 傳感器

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好處

  • 與大多數(shù) ALD 過程溫度兼容
  • 明顯減少維護(hù)工作
  • 大化系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)間
  • 大化測(cè)量精度
  • 在高過程溫度下可獲得低噪聲的穩(wěn)定讀數(shù)

功能

  • 工作溫度高達(dá) 450°C
  • 氣體吹掃管路可防止晶體背面出現(xiàn)沉積材料
  • 焊接式 Conflat 法蘭 (CF40) 選件
  • O 形密封環(huán)壓縮接頭選件
  • 提供高溫晶體

典型應(yīng)用

  • 原子層沉積 (ALD)
ALD PN.png

附件

零件號(hào) 明細(xì)
750-1058-G10 120 ℃ 優(yōu)化晶片,6 MHz,14 mm (0.55 in.),金,每包 10 片
750-1059-G10 240 ℃優(yōu)化晶片,6 MHz,14 mm (0.55 in.),金,每包 10 片
750-1060-G10 285 ℃ 優(yōu)化晶片,6 MHz,14 mm (0.55 in.),金,每包 10片

耗材

名稱 說明
石英監(jiān)控器晶體

備件

零件號(hào) 明細(xì)
007-007 止動(dòng)彈簧(用于晶體支架)
007-064 陶瓷夾持器
007-094 Clamping Sring, UHV Bakeable Sensor
007-095 Handle, UHV Bakeable Sensor
007-098 母型連接器(包括套圈和螺母)
007-099 可烘烤頭部觸點(diǎn)
007-100 High Temperature BNC Insulator
007-103 Insulator, UHV Bakeable Sensor
007-104 High Temperature BNC Body, Bakeable
007-147 Vented Screw, 4-40 x 3/8 in.
007-228 SPEC,4-40 X 5/8 VENTED SHC SC
007-267-P2 Spreader Bar, UHV Bakeable Sensor
007-268-P1 Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor
007-269-P1 Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor
070-201 #4 開口緊鎖墊圈
084-069-P1 SCREW 4-40 x .187 LG PHIL FLAT HD SS
750-018-P3 SPLIT CLAMP {THD} {CLEAN} @
750-018-P5 SPLIT CLAMP {CLEAN} @
750-218-G1 Crystal Holder, Bakeable Sensor

數(shù)據(jù)表

手冊(cè)

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