P-725 PIFOC Long-Travel Objective Scanner

支持多個行程，系統中配有控制器

性能：

物鏡掃描定位，亞納米精度，毫秒級響應時間

采用電容傳感器直接測量，線性度

無回差柔性鉸鏈并聯導向結構，物鏡補償量較小，具有超高聚焦穩(wěn)定性

采用PICMA壓電陶瓷促動，超長壽命

支持多光子顯微鏡長行程掃描，掃描范圍460um

通光孔徑29mm

參數：

大尺寸：46*40.5*68mm	重復精度：±5nm
大目鏡直徑：39mm	推拉力：100/20N
閉環(huán)行程：100,250,400um	無負載下自振頻率：470Hz
傳感器：電容傳感器	剛度：0.23N/um
閉環(huán)分辨率：達0.65nm	串擾（X,Y）:100um行程下串擾20nm
線性度：0.03%

應用：

3D成像

拍攝

干涉量度

度量衡

自聚焦系統

共聚焦顯微系統

生物技術

半導體測試