全自動光譜橢偏儀把使用者從煩瑣的手動調節(jié)樣品高度和傾斜度工作中解放出來，樣品對準是為了保證橢偏儀測量的可重復性和精確性。已獲得的自動樣品對準裝置能夠顯著減少操作失誤；能夠工作于透明或反射基底；能夠進行地貌圖測量，包括翹曲晶片。



全自動光譜橢偏儀 - 產品特點

■ 全自動樣品校準
■ 高測量速率 < 8秒
■ 消除了全波段范圍內的盲點
■ 可測量透明和吸收基底
■ 高測量精度
■ 具有實驗數據和模擬數據三維繪圖功能
■ 友好的軟件界面，強大數據分析功能
■ 具有實驗數據和模擬數據三維繪圖功能



光譜橢偏儀 - 技術指標

■ 光源：氙燈
■ 光斑直徑：1-3mm
■ 入射角范圍：20°到90°自動控制
■ 波長范圍：350-850nm， 250-1100nm， 250-1700nm：0.002°~ 0.02°
■ 波長精度：1nm
■ 測量時間: < 8s （取決于測量模式和粗糙度）
■ 入射角度精度：0.01

光譜橢偏儀 - 可選配

■ CCD線陣列探測元件：200-850nm，350-1000nm
■ 樣品顯微鏡
■ 高穩(wěn)定性消色差補償器
■ 透射測量架
■ XY移動樣品臺